О возможности использования программной среды SENTAURUS TCAD для моделирования воздействия ЭСР на компоненты микроэлектроники

По мере сокращения геометрических размеров элементной базы микроэлектроники значительно возрастает чувствительность компонентов изделий электронной техники к воздействию электростатического разряда (ЭСР). Чаще всего при производстве компонентов микроэлектроники статическое электричество возникает вследствие трения поверхностей различных материалов. Причиной возникновения ЭСР является передвижение свободных электронов или ионов в результате соприкосновения поверхностей с разными значениями потенциалов. Другими словами, ЭСР есть процесс выравнивания зарядов между двумя телами [1]. Искрообразование в результате воздействия разрядов статического электричества может привести, как к временной потере работоспособности изделия, так и к полному нарушению выполнения заложенных функций.

Год: 2014
Город: Астана
Категория: Информатика